“扫描探针显微镜漂移测量方法(ISO11039:2012)”

日期:2021-09-03编辑作者:南方测绘

  该标准由中国科学技术大学工程科学学院黄文浩教授主持制订,主要针对制约扫描探针显微镜在纳米测量和纳米加工方面的进一步应用的问题而制订。扫描探针显微镜在纳米测量和纳米加工方面应用时,经常会遇到扫描速率较慢,漂移现象等制约。

  黄文浩教授致力于为该问题提出解决方案,在2006年就向国际标准化组织ISO/TC201提出了“扫描探针显微镜漂移速率测量方法标准”提案。自2007年该提案正式立项后,经过数年的努力,该标准终于在2011年顺利通过,并于近日正式发布。

  该标准通过将扫描探针显微镜作时纳米/秒的漂移大小和方向测量出来,从而规范仪器使用。该标准定义了漂移速率专业术语,以及SPM漂移速率的测量方法和测量程序,并对仪器功能等进行规范。该标准为扫描探针显微镜生产厂家提供了规范。同时也使得扫描探针显微镜在纳米级测量中的应用突破瓶颈,范围更加宽广和深入,推动纳米测量技术的发展。

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